(资料图)
1、交联剂又称作架桥剂,是聚烃类光致抗蚀剂的重要组成部分,这种光致抗蚀剂的光化学固化作用。
2、依赖于带有双感光性官能团的交联剂参加反应,交联剂曝光后产生双自由基,它和聚烃类树脂相作用。
3、在聚合物分子链之间形成桥键,变为三维结构的不溶性物质。
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